NetSCADA案例-半导体 - 澳门太阳城手机app,智能制造,智能产品,智能系统,智能业务
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    NetSCADA案例-半导体

    发布时间:2019-03-05

    MOCVD 自动控制系统


     

    系统概述
    MOCVD是制造超薄层微结构(低维半导体材料)最常用、成本较低、生产量大的设备方法之一。
    系统原理
    控制系统总体分为源供给系统、气体输运系统、反应室加热系统、尾气处理系统、安全保护及报警系统五大部分;核心控制功能为温度控制及气体流量控制。
    系统配置
    .自动化控制器: e-Control PLC,是控制系统的核心硬件平台。
    .人机界面硬件: TPC1503工业级15寸触摸式平板电脑。
    .人机界面软件: NETSCADA组态软件开发平台,提供MOCVD相关功能模块。

     蓝宝石炉控制系统

     

    系统概述
    蓝宝石炉是LED行业关键设备之一。蓝宝石晶体独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使其成为半导体GaN发光二极管(LED),大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等最为理想的衬底材料。
    系统原理
    蓝宝石炉设备总体可分为加热系统、籽晶提升系统、称重系统、真空系统、水冷系统、图像识别系统六大部分。
    系统配置
    .自动化控制器: e-Control PLC,是控制系统的核心硬件平台。
    .人机界面硬件:工业级触摸式平板电脑。
    .人机界面软件: NETSCADA组态软件开发平台。