真空镀膜机控制方案 - 澳门太阳城手机app,智能制造,智能产品,智能系统,智能业务
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    真空镀膜机控制方案

    发布时间:2019-03-06

    方案概述
    真空镀膜机主要用于对半导体、光伏、电子、精密光学等行业的纳米级表面处理。它是采用电子束蒸发原理,通过电子枪发射高压电子轰击坩埚中的待镀靶材,使其在高真空下蒸发并沉积在被镀基片上以获得镀膜。其控制核心为电子枪扫描轨迹路线算法、电子枪加热功率控制、镀膜沉积速率平稳性控制、多层膜系自动切换控制、以及相关安全容错等控制。
    方案构成
    · 通过澳门太阳城手机appe-Control PLC 构建了自动化控制系统地核心硬件平台,实现对整个镀膜系统各控制部件、传感器等数据处理和控制。
    · 通过澳门太阳城手机appNetSCADA组态软件构建了HMI人机交互界面,实现该系统与操作员、工艺师、运维等不同身份人员的友好的交互管理。实现对系统各项指标做到可监视、可控制、可追溯。

     


    系统主要特点
    · 提供多达99层一次成膜支援;
    · 自动倒幕翻转,可实现双面镀膜;
    · 支持Excle导入靶材、设备参数、工艺参数等;
    · 支持电子枪像素点数量自定义控制,实现靶材的无缝隙加热控制;
    · 针对不同加热段,采用不同蒸镀模式,保证熔料均温的同时,保证熔料效率;
    · 一键式启动,从启动到生产结束只需轻点一下鼠标,各种生产流程自动完成;
    · 批号式数据管理方案,实时自动保存生产信息,对生产数据有据可查;
    · 网络化方案,提供远程组网端口,轻松实现远程多系统集中控制和管理;